（半）В полупроводниковой промышленности чистота материалов и контроль микроэлементов имеют решающее значение для обеспечения качества продукции. XRF, TXRF и другие аналитические приборы широко используются в качестве эффективных аналитических инструментов: Обнаружение примесей: обнаружение следовых примесей в кремниевых пластинах и полупроводниковых материалах, например, возможность неразрушающего обнаружения металлических примесей в кремниевых пластинах, таких как железо, медь, никель, хром и т. Д., Концентрация этих элементов обычно должна контролироваться на уровне ppb (часть на миллиард) или даже ниже. Производственный контроль: Применение в производственном контроле включает периодические испытания сырья, промежуточных продуктов и конечных продуктов для мониторинга изменений химического состава в процессе производства. Для обеспечения высокой чистоты и согласованности полупроводниковых материалов.
Технология TXRF может использоваться для качественного и количественного анализа наноматериалов, чтобы помочь исследователям понять состав и распределение материалов: Анализ наночастиц: наночастицы играют ключевую роль во многих высокотехнологичных приложениях, включая биомедицину, катализаторы, электронные и оптические устройства. Технология TXRF позволяет точно анализировать состав и поверхностное покрытие этих наночастиц. Исследования нанокомпозитов: нанокомпозиты позволяют получать новые материалы с уникальными физическими, химическими и механическими свойствами путем объединения наноразмерных компонентов различных материалов. Технологии XRF и TXRF имеют значительные преимущества в изучении различных компонентов и их пропорций в этих композитных материалах. Например, с помощью TXRF исследователи могут точно анализировать и сравнивать содержание металлических элементов в различных нанокомпозитах, тем самым оптимизируя свойства материалов, такие как твердость, износостойкость и коррозионная стойкость.
