Настольный сканирующий электронный микроскоп SuperSEM, использующий передовые электронно-оптические технологии, обеспечивает совместный анализ сканирующего электронного микроскопа (SEM) и детекторов энергетической дисперсионной рентгеновской спектроскопии (EDS) в режиме реального времени. Технология SEM используется для получения структурной информации о поверхности образца, а ЭДС используется для анализа химических элементов и характеристики. SuperSEM не только упрощает процесс анализа многих материалов, но и обеспечивает высококачественную качественную и количественную информацию о компонентах при получении изображений благодаря наложению распределения цветовых элементов в режиме реального времени на SEM-изображение. Кроме того, SuperSEM оснащен высоким ускоренным напряжением, многоугловым наблюдением и комплектующим программным обеспечением для анализа данных, которое может автоматически фокусироваться, быстро сканировать, наблюдать за распределением элементов образца в режиме реального времени в видеорежиме, чтобы обеспечить точный и эффективный сбор и анализ изображений.
свободно выбирать диапазон анализа, идентифицировать элементы в различных областях, таких как точки, линии и поверхности на изображении, с отличным алгоритмом визуального анализа и программным обеспечением, реализовать точное разделение близких спектральных пиков, демонстрацию пространственного распределения элементов и другие функции, которые могут быть применены для изучения компоновки интерфейса материала, однородности элементов, диффузии и других характеристик.
Применяется высокочувствительный четырехщелевой детектор электронов обратного рассеяния, независимая визуализация и произвольный синтез сигналов, может дать богатую информацию о составе, хорошую экологическую адаптацию.
Дружественный интерфейс программного обеспечения, простая эксплуатация, интегрированный конденсатор, не нужно вручную регулировать диафрагму, не нужно часто выполнять ось электронного пучка, автоматический контраст яркости, автофокусировка, автоматическое устранение астигматизма, сшивание больших изображений и т. Д. Одним нажатием кнопки. Это позволяет начинающим пользователям быстро начать работу.
Версия | SuperSEM N10 | SuperSEM N10eX | SuperSEM N10Plus | SuperSEM N10XL |
Размер (W×L×H) | 292×570×515 mm | 292×570×515 mm | 330×614×547 mm | 330×614×547 mm |
Масса | 55 KG | 56 KG | 57 KG | 58 KG |
напряжение ускорения | 5 kV、10 kV、15 kV | 5 kV、10 kV、15 kV | 5 kV、10 kV、15 kV 20 kV、25 kV、30 kV | 5 kV、10 kV、15 kV 20 kV、25 kV、30 kV |
Трехмерная мобильная стадия образца | X:25 mm Y:25 mm Z:30 mm | X:25 mm Y:25 mm Z:30 mm | X:25 mm Y:25 mm Z:30 mm | Большая камера для отбора проб, система для анализа пробы до 100 х 100 mm |
Максимальный размер образца | 90 mm ( диаметр) 40 mm ( толщина) | 90 mm ( диаметр) 40 mm ( толщина) | 90 mm ( диаметр) 40 mm ( толщина) | |
удвоение | × 10 ~ × 100 000 (увеличение фотографии) × 25 ~ × 250,000 (увеличение дисплея) | |||
электронная пушка | вольфрамовая нить | |||
детектор | Обратно рассеянные электроны: детектор обратно рассеянных электронов с высокой чувствительностью 4 EDS: псевдоцветная визуализация энергетического спектра в реальном времени | Обратно рассеянные электроны: высокочувствительный 4-сегментный детектор обратно рассеянных электронов Вторичный электрон: детектор вторичного электрона EDS: псевдоцветная визуализация энергетического спектра в реальном времени | Обратно рассеянные электроны: высокочувствительный 4-сегментный детектор обратно рассеянных электронов Вторичный электрон: детектор вторичного электрона EDS: псевдоцветная визуализация энергетического спектра в реальном времени | Обратно рассеянные электроны: высокочувствительный 4-сегментный детектор обратно рассеянных электронов Вторичный электрон: детектор вторичного электрона EDS: псевдоцветная визуализация энергетического спектра в реальном времени |
Параметры ЭДС | Тип детектора: кремниевый детектор дрейфа Обнаружение площади: 30mm2 Разрешение: 130eV Диапазон элементного анализа: B-U | |||
сигнал изображения | обратно рассеянный электрон детектор энергетического спектра Композитное изображение (обратно рассеянные электроны + автоматическая окраска псевдоцветной визуализации энергетического спектра в реальном | обратно рассеянный электрон детектор энергетического спектра вторичный электрон Композитное изображение (обратно рассеянные электроны + вторичные электроны + энергетический спектр в реальном времени автоматическая окраска псевдоцветная визуализация) | обратно рассеянный электрон детектор энергетического спектра вторичный электрон Композитное изображение (обратно рассеянные электроны + вторичные электроны + энергетический спектр в реальном времени автоматическая окраска псевдоцветная визуализация) | обратно рассеянный электрон детектор энергетического спектра вторичный электрон Композитное изображение (обратно рассеянные электроны + вторичные электроны + энергетический спектр в реальном времени автоматическая окраска псевдоцветная визуализация) |
Вакуумный режим | Стандарт | Стандарт | Электрический проводник (только обратно рассеянные электроны) Стандарт снижение заряда | Электрический проводник (только обратно рассеянные электроны) Стандарт снижение заряда |
система эвакуации (вакуумный насос) | Турбомолекулярный насос: 67 л/с Передний насос: 20 л/мин |