（半）В полупроводниковой промышленности чистота материалов и контроль микроэлементов имеют решающее значение для обеспечения качества продукции. XRF, TXRF и другие аналитические приборы широко используются в качестве эффективных аналитических инструментов: Обнаружение примесей: обнаружение следовых примесей в кремниевых пластинах и полупроводниковых материалах, например, возможность неразрушающего обнаружения металлических примесей в кремниевых пластинах, таких как железо, медь, никель, хром и т. Д., Концентрация этих элементов обычно должна контролироваться на уровне ppb (часть на миллиард) или даже ниже. Производственный контроль: Применение в производственном контроле включает периодические испытания сырья, промежуточных продуктов и конечных продуктов для мониторинга изменений химического состава в процессе производства. Для обеспечения высокой чистоты и согласованности полупроводниковых материалов.
