Может применяться для наблюдения микроскопической морфологии, подготовки поперечных срезов, анализа дефектов и анализа отказов печатных плат и гибких печатных плат. Позволяет исследовать морфологию поверхности и прочность сцепления медной фольги с основой из смолы, адгезию и отслаивание сухой плёнки, степень коррозии никеля, а также быстро измерять толщину слоя интерметаллических соединений (IMC) для оценки надёжности паяных соединений. Для сложных структур, таких как многослойные платы, глухие и скрытые отверстия, в сочетании с резкой ионным пучком можно выполнять подготовку поперечных срезов и локализацию внутренних дефектов, что решает проблемы традиционного изготовления шлифов, связанные с высокой разрушаемостью и сложностью анализа состава.
