Прибор основан на рентгенофлуоресцентной спектроскопии полного отражения (TXRF), которая генерирует рентгеновский пучок с помощью микрофокусного точечного источника высокой яркости с фиксированной целью и использует вакуумные ортогональные рентгеновские искусственные многослойные отражающие фокусирующие зеркала для вторичного отражения рентгеновских лучей, сокращая энергетический диапазон пучка до очень узкого диапазона, который очень тонкий пучок будет облучен на плоском носителе образца под очень малым углом (<1°), и полностью отражен, а образец будет излучать характерную флуоресценцию, которая будет измерена энергодисперсионным рентгеновским детектором. Очень тонкий луч попадает на плоский носитель образца под очень малым углом (менее 1°) и полностью отражается, а образец излучает характерную флуоресценцию, которая измеряется энергодисперсионным рентгеновским детектором. Благодаря малому расстоянию между детектором и носителем образца флуоресценция обнаруживается очень эффективно, а поглощение рентгеновских лучей в воздухе также уменьшается.