Прибор основан на рентгенофлуоресцентной спектроскопии полного отражения (TXRF), которая генерирует рентгеновский пучок с помощью высокояркого микрофокусного источника света с фиксированной мишенью и использует вакуумные ортогональные рентгеновские искусственные многослойные отражающие фокусирующие зеркала для вторичного отражения рентгеновских лучей, сокращая энергетический диапазон пучка до очень узкого, который является очень тонким и будет облучен плоским образцом носителя под очень малым углом (<0,1°) и полностью отражен, а образец будет излучать характерную флуоресценцию, которая будет измерена энергодисперсионным рентгеновским детектором. Очень тонкий луч попадает на плоский носитель образца под очень малым углом (менее 0,1°) и полностью отражается, а образец излучает характерную флуоресценцию, которая измеряется энергодисперсионным рентгеновским детектором. Благодаря малому расстоянию между детектором и носителем образца, флуоресценция обнаруживается очень эффективно, а поглощение рентгеновских лучей в воздухе также уменьшается.